ヒラクリ ケンジ   HIRAKURI Kenji
  平栗 健二
   所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2019/11/13
発表テーマ RFプラズマCVDおよびマグネトロンスパッタリング法を用いて形成された多層DLCの組成評価
会議名 第33回ダイヤモンドシンポジウム
学会区分 研究会・シンポジウム等
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
開催地名 国立大学法人東京工業大学
発表者・共同発表者 鈴木貴大、大越康晴、小畑修二、平栗健二、本間章彦