ゴミ　ケンジ   GOMI Kenji   五味　健二    所属   東京電機大学  工学部 機械工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
発表年月日	2008/10/24
発表テーマ	RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARISCOPE
会議名	10th International Symposium on Electronics Materials and Packaging
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
開催地名	Taipei, Taiwan
発表者・共同発表者	Kensuke Ichinose and Yasushi Niitsu