ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2008/10/24
発表テーマ RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARISCOPE
会議名 10th International Symposium on Electronics Materials and Packaging
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 Taipei, Taiwan
発表者・共同発表者 Kensuke Ichinose and Yasushi Niitsu