ゴミ　ケンジ   GOMI Kenji   五味　健二    所属   東京電機大学  工学部 機械工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
発表年月日	2004/03/04
発表テーマ	赤外線レーザ光弾性法によるシリコンウエハの内部応力の定量化
会議名	（社）日本機械学会
学会区分	研究会・シンポジウム等
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	学内者（指導下助手・院生・学部生）
概要	ＪＳＭＥ関東学生会第43回学生員卒業研究発表講演前刷集，[2004-3-4，東京]，207-208．