ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二 所属 東京電機大学 工学部 機械工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻 東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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発表年月日 | 2004/03/04 |
発表テーマ | 赤外線レーザ光弾性法によるシリコンウエハの内部応力の定量化 |
会議名 | (社)日本機械学会 |
学会区分 | 研究会・シンポジウム等 |
発表形式 | 口頭(一般) |
発表者・共同発表者 | 学内者(指導下助手・院生・学部生) |
概要 | JSME関東学生会第43回学生員卒業研究発表講演前刷集,[2004-3-4,東京],207-208. |