フジタ トシノリ
FUJITA Toshinori
藤田 壽憲 所属 東京電機大学 工学部 先端機械工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻 東京電機大学 工学部 機械工学科 東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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発表年月日 | 2012/11/30 |
発表テーマ | 空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージのナノ位置決め |
会議名 | 平成24年度秋季フルードパワーシステム講演会 |
学会区分 | 全国学会 |
発表形式 | 口頭(一般) |
開催地名 | 福岡県福岡市 |
発表者・共同発表者 | 村木雄飛,藤田壽憲,榊和敏,川嶋健嗣,香川利春 |