フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2012/11/30
発表テーマ 空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージのナノ位置決め
会議名 平成24年度秋季フルードパワーシステム講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 福岡県福岡市
発表者・共同発表者 村木雄飛,藤田壽憲,榊和敏,川嶋健嗣,香川利春