シノダ ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki
  篠田 宏之
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2012/03/18
発表テーマ UHVスパッタエピタキシーによるInGaN単結晶層の成長(IV)
会議名 第59回応用物理学関係連合講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 羽鳥貴善,飯島成規,二階堂真也,小山田友樹,寒河江宏介,篠田宏之,六倉信喜