シノダ　ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki   篠田　宏之    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2011/08/31
発表テーマ	スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長（III）
会議名	第72回応用物理学会学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	吉田圭佑，落久保隆，重野宏豊，田沼秀，篠田宏之，六倉信喜