シノダ　ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki   篠田　宏之    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2016/06/29
発表テーマ	スパッタエピタキシー法により成長したZnO単結晶層の真空アニール処理
会議名	平成28年度日本材料科学会学術講演大会
主催者	日本材料科学会
学会区分	全国学会
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	産業技術総合研究所（AIST）臨海副都心センター別館
発表者・共同発表者	水野愛，安藤毅，篠田宏之，六倉信喜