シノダ ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki
  篠田 宏之
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2015/03/12
発表テーマ UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理
会議名 第62回応用物理学会春季学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 松久 健司,佐久間 大樹,三好 佑弥,水野 愛,篠田 宏之,六倉 信喜