シノダ　ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki   篠田　宏之    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2014/09/20
発表テーマ	UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(II)
会議名	第75回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	松久健司，佐久間大樹，三好佑弥，篠田宏之，六倉信喜