シノダ　ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki   篠田　宏之    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2012/11/16
発表テーマ	UHVスパッタエピタキシー法によるInGaN単結晶層の成長（I）
会議名	’12 SAS Intelligent Symposium
学会区分	研究会・シンポジウム等
発表形式	ポスター
発表者・共同発表者	笹原駿介，増田貴則，比留間翔太，飯島成規，二階堂真也，羽鳥貴善，篠田宏之，六倉信喜