シノダ ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki
  篠田 宏之
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2012/09/13
発表テーマ スパッタ法によりa面Al2O3基板上に成長したZnO単結晶層のアニーリング効果
会議名 第73回応用物理学会学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 濵田夕慎,高橋昌幸,重野宏豊,田沼秀隆,篠田宏之,六倉信喜