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コマツ サトシ
KOMATSU Satoshi
小松 聡 所属 東京電機大学 工学部 電子システム工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻 東京電機大学 工学部 電気電子工学科 東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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| 発表年月日 | 2019/11/20 |
| 発表テーマ | パリレンコートによる常温真空封止を用いたCMOS-MEMS圧力センサ |
| 会議名 | 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム |
| 学会区分 | 研究会・シンポジウム等 |
| 発表形式 | ポスター |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 発表者・共同発表者 | 野口 駿太，小松 聡 |