マツヤ　イワオ   MATSUYA Iwao   松谷　巌    所属   東京電機大学  理工学部 理工学科　機械工学系    東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻    職種   准教授
発表年月日	2008/09/02
発表テーマ	半導体位置検出素子を利用した変位計測システムの開発
会議名	秋季第69回応用物理学会学術講演会
主催者	応用物理学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
開催地名	愛知県