オオゴエ　ヤスハル   OHGOE Yasuharu   大越　康晴    所属   東京電機大学  理工学部 理工学科　電子工学系    東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻    職種   准教授
発表年月日	2002/03
発表テーマ	高周波プラズマCVD法による半球状構造物へのDLC膜の成膜
会議名	第49回応用物理学関係連合講演会（春季）
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
開催地名	東海大学　湘南校舎
発表者・共同発表者	大越康晴，宮松寿延，髙田哲，土本勝也，平栗健二，本間章彦，巽英介，妙中義之，福井康裕