オオゴエ ヤスハル   OHGOE Yasuharu
  大越 康晴
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   准教授
発表年月日 2004/03
発表テーマ 半球状構造物を対象とした高周波プラズマCVD法のプロセス評価(Ⅲ)
会議名 第51回応用物理学関係連合講演会(春季)
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 東京工科大学
発表者・共同発表者 大越康晴,髙田哲,金子陽介,佐藤慶介,平栗健二