オオゴエ　ヤスハル   OHGOE Yasuharu   大越　康晴    所属   東京電機大学  理工学部 理工学科　電子工学系    東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻    職種   准教授
発表年月日	2017/08
発表テーマ	Effect of Oxygen Plasma Treatment on Film Structure for Different Types of DLC films
会議名	IUMRS-ICAM 2017 (The 15th International Conference on Advanced materials)
学会区分	国際学会
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	Kyoto, Japan
発表者・共同発表者	T. Mayama, H. Watanabe, M. Hiratsuka, H. Tsuboi, H. Nakamori, A. Homma, K. Hirakuri, and Y. Ohgoe