オオゴエ　ヤスハル   OHGOE Yasuharu   大越　康晴    所属   東京電機大学  理工学部 理工学科　電子工学系    東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻    職種   准教授
発表年月日	2007/11
発表テーマ	Carbon thin film deposition for 3-dimensional structures using r.f. plasma CVD
会議名	MJISAT 2007
学会区分	国際学会
発表形式	口頭（一般）
開催地名	Kuala Lumpur, Malaysia
発表者・共同発表者	Y. Ohgoe, K. K. Hirakuri, A. Funakubo, and Y. Fukui