オオゴエ ヤスハル   OHGOE Yasuharu
  大越 康晴
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   准教授
発表年月日 2007/11
発表テーマ Carbon thin film deposition for 3-dimensional structures using r.f. plasma CVD
会議名 MJISAT 2007
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 Kuala Lumpur, Malaysia
発表者・共同発表者 Y. Ohgoe, K. K. Hirakuri, A. Funakubo, and Y. Fukui