オオゴエ　ヤスハル   OHGOE Yasuharu   大越　康晴    所属   東京電機大学  理工学部 理工学科　電子工学系    東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻    職種   准教授
発表年月日	2015/09
発表テーマ	酸素プラズマ処理によるDLCの表面改質の検討
会議名	第76回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	単独