マツダ ナミオ   MATSUDA Namio
  松田 七美男
   所属   東京電機大学  システムデザイン工学部 自然科学系列(システムデザイン工学部)
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 物質工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1986
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 超高真空装置を用いてのTiNスパッタ膜の製作
執筆形態 共著