ムツクラ　ノブキ   MUTSUKURA Nobuki   六倉　信喜    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2005/05
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	Temperature dependence of InN film deposition by a r.f. plasma-assisted reactive ion-beam sputtering deposition technique
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films 476 (2005) 276
著者・共著者	学内者（指導下助手）