ムツクラ　ノブキ   MUTSUKURA Nobuki   六倉　信喜    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003/09
形態種別	国際会議論文
標題	Deposition of singlecrystalline inN layer by a rf magnetron sputtering method
執筆形態	共著
掲載誌名	Diamond 2003 Conference（Salzburg，Austria）
著者・共著者	学内者（指導下助手・院生・学部生）