ムツクラ ノブキ   MUTSUKURA Nobuki
  六倉 信喜
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2003/11
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Effect of ion-bombardment on the deposition of a-CNx:H films in CH4/N2 rf plasma
執筆形態 単著
掲載誌名 Diamond and related Materials 12(2003)PP2057-2060
著者・共著者 六倉信喜