モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2004/07
形態種別 学術研究報告書
標題 高品質シリコン系アモルファス半導体の成長プロセスに関する研究
執筆形態 単著
掲載誌名 東京電機大学総合研究所年報,No.23
著者・共著者 本橋光也