モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2009/11
形態種別 学術研究論文
標題 水素化アモルファスシリコンカーバイド積層膜中の原子結合状態
執筆形態 共著
掲載誌名 薄膜材料デバイス研究会第6回研究集会アブストラクト集
出版社・発行元 薄膜材料デバイス研究会
巻・号・頁 2P-13,125-128頁
著者・共著者 和賀井達也、本橋光也、本間和明