モトハシ　ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya   本橋　光也    所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1990
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	水素化アモルファスシリコン薄膜内部の構造不均質性の評価法
執筆形態	共著