ヒラクリ ケンジ   HIRAKURI Kenji
  平栗 健二
   所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1999
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Application of diamond-like carbon films to the integrated circuit fabrication process
執筆形態 共著
掲載誌名 Diamond and Related Materials
巻・号・頁 8,pp.2018-2021
著者・共著者 Y. Komatsu, A. Alanazi