ヒラクリ ケンジ   HIRAKURI Kenji
  平栗 健二
   所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1998
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Diamond synthesis in capacitively coupled 13.56 MHz radio frequency plasma using parallel plate electrodes with the addition of direct current power
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Vacuum Science Technology
巻・号・頁 16(6),pp.3185-3189
著者・共著者 Y. Asakura, K.K. Chattopadyay, S. Matsumoto