ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2000/08
形態種別 会議論文
標題 GaAsウエハの残留応力と結晶すべりの関係
執筆形態 共著
掲載誌名 日本機械学会 2000年度年次大会講演論文集
巻・号・頁 Vol. Ⅲ(No.00-1),245-246頁
著者・共著者 新津・一瀬