ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1994
形態種別 会議論文
標題 偏光レーザを用いたシリコン・ウエハの応力分布測定
執筆形態 共著
掲載誌名 日本機械学会講演論文集
巻・号・頁 (940-10),723-725頁
著者・共著者 新津