ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1994/11
形態種別 国際会議論文
標題 Stress Measurement in Si-Wafer using Polarized Infrared Laser Photoelasticity
執筆形態 共著
掲載誌名 Proc. of Mech. and Materials for Electronic Packaging
巻・号・頁 Vol.2, ASME AMD-187/ASME-1994 WAM,pp.37-40
著者・共著者 Y. Niitsu