ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2001/11
形態種別 学術研究報告書
標題 赤外線レーザ光弾性法の開発と半導体ウエハの応力測定への応用
執筆形態 単著
掲載誌名 東京電機大学 大学院 工学研究科
巻・号・頁 (工乙第57号 (2001-11-19))