ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2011/01
形態種別 国際会議論文
標題 Stress distribution measurement in GaN semiconductor wafer using laser photoelasticity
執筆形態 共著
巻・号・頁 Proc. of Processing and Fabrication of Advanced Materials (PFAM-19)
著者・共著者 Kenji Gomi1 and Hiroshi Kusaga