フジタ　トシノリ   FUJITA Toshinori   藤田　壽憲    所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻    東京電機大学  工学部 機械工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/09
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	空気圧ベローズにより駆動する微動ステージの制御方法とナノ位置決め
執筆形態	共著
掲載誌名	日本フルードパワーシステム学会論文集
掲載区分	国内
出版社・発行元	日本フルードパワーシステム学会，pp.33-38（2017．9．15）
巻・号・頁	48(5),33-38頁
著者・共著者	藤田壽憲，榊和敏，宮崎里美，宮崎敬一