フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2017/09
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 空気圧ベローズにより駆動する微動ステージの制御方法とナノ位置決め
執筆形態 共著
掲載誌名 日本フルードパワーシステム学会論文集
掲載区分国内
出版社・発行元 日本フルードパワーシステム学会,pp.33-38(2017.9.15)
巻・号・頁 48(5),33-38頁
著者・共著者 藤田壽憲,榊和敏,宮崎里美,宮崎敬一