フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2015/09
形態種別 解説
標題 半導体産業に向けた空気圧サーボ制御による超精密位置決め技術
執筆形態 単著
掲載誌名 計測と制御
掲載区分国内
巻・号・頁 54(9),633--38頁
ISSN 0453-4662