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フジタ トシノリ
FUJITA Toshinori
藤田 壽憲 所属 東京電機大学 工学部 先端機械工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻 東京電機大学 工学部 機械工学科 東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2015/09 |
| 形態種別 | 解説 |
| 標題 | 半導体産業に向けた空気圧サーボ制御による超精密位置決め技術 |
| 執筆形態 | 単著 |
| 掲載誌名 | 計測と制御 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 巻・号・頁 | 54(9),633--38頁 |
| ISSN | 0453-4662 |