フジタ トシノリ
FUJITA Toshinori
藤田 壽憲 所属 東京電機大学 工学部 先端機械工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻 東京電機大学 工学部 機械工学科 東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2014/11 |
形態種別 | 国際会議論文 |
標題 | Nanoscale Positioning of Air Guided Slight Movement Stage Driven by Pneumatic Bellows |
執筆形態 | 共著 |
巻・号・頁 | pp.339-342 |