フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2013/12
形態種別 新聞(記事)・雑誌掲載
標題 空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージのナノ位置決め技術
執筆形態 単著
掲載誌名 油空圧技術
出版社・発行元 日本工業出版
巻・号・頁 52(13),1-5頁
ISSN 0914-6253