フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2011/07
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows
執筆形態 共著
巻・号・頁 5(4),pp.508-515
著者・共著者 Toshinori Fujita, Kazutoshi Sakaki, Yusuke Takagi, Kenji Kawashima, Toshiharu Kagawa
ISSN 1881-7629