ホンマ アキヒコ   HOMMA Akihiko
  本間 章彦
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系(2018年度新設)
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2018
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Effect of Oxygen Plasma Treatment on Film Structure for Different Types of DLC film
執筆形態 共著
掲載誌名 Transactions of the Materials Research Society of Japan
掲載区分国外
巻・号・頁 43(5),pp.275-278
総ページ数 4
著者・共著者 Tatsuya Mayama, Masanori Hiratsuka, Hideki Nakamori, Akihiko Homma, Kenji Hirakuri, Yasuharu Ohgoe