シノダ　ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki   篠田　宏之    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2012/04
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	Highly c-axis oriented AlN layers grown on c-plane sapphire substrates by radio-frequency sputter epitaxy at 1080 °C
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
巻・号・頁	520,pp.4237-4241
著者・共著者	◎Nobuki Mutsukura, Hiroyuki Shinoda