コマツ サトシ   KOMATSU Satoshi
  小松 聡
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2013/12
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 High-throughput Electron Beam Direct Writing of VIA Layers by Character Projection with One-dimensional VIA Characters
執筆形態 共著
掲載誌名 IEICE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences
出版社・発行元 IEICE
巻・号・頁 Vol. E96-A(12),pp.2458-2466
著者・共著者 Rimon Ikeno, Takashi Maruyama, Satoshi Komatsu, Tetsuya Iizuka, Makoto Ikeda, Kunihiro Asada