コマツ サトシ
KOMATSU Satoshi
小松 聡 所属 東京電機大学 工学部 電子システム工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻 東京電機大学 工学部 電気電子工学科 東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2013/01 |
形態種別 | 国際会議論文 |
査読 | 査読有り |
標題 | High-throughput Electron Beam Direct Writing of VIA Layers by Character Projection using Character Sets Based on One-dimensional VIA Arrays with Area-efficient Stencil Design |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Proc. of 18th Asia and South Pacific Design Automation Conference (ASP-DAC 2013) |
巻・号・頁 | pp.255-260 |
著者・共著者 | Rimon Ikeno, Takashi Maruyama, Tetsuya Iizuka, Satoshi Komatsu, Makoto Ikeda, and Kunihiro Asada |