コマツ　サトシ   KOMATSU Satoshi   小松　聡    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2013/01
形態種別	国際会議論文
査読	査読有り
標題	High-throughput Electron Beam Direct Writing of VIA Layers by Character Projection using Character Sets Based on One-dimensional VIA Arrays with Area-efficient Stencil Design
執筆形態	共著
掲載誌名	Proc. of 18th Asia and South Pacific Design Automation Conference (ASP-DAC 2013)
巻・号・頁	pp.255-260
著者・共著者	Rimon Ikeno, Takashi Maruyama, Tetsuya Iizuka, Satoshi Komatsu, Makoto Ikeda, and Kunihiro Asada