コマツ サトシ   KOMATSU Satoshi
  小松 聡
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2013/03
形態種別 国際会議論文
査読 査読有り
標題 Practical proof of CP element based design for 14nm node and beyond
執筆形態 共著
掲載誌名 Proc. of SPIE2013 Advanced Lithography
著者・共著者 Takashi Maruyama, Hiroshi Takita, Rimon Ikeno, Morimi Osawa, Yoshinori Kojima, Shinji Sugatani, Hiromi Hoshino, Toshio Hino, Masaru Ito, Tetsuya Iizuka, Satoshi Komatsu, Makoto Ikeda, and Kunihiro Asada