ヤマウチ　ヒロシ   YAMAUCHI Hiroshi   山内　博    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   助教（Ａ）
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003/04
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	A New Microwave-Exited Plasma Etching Equipment for Separating Plasma Excited Region from Etching Process Region
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分	国内
巻・号・頁	42,pp.1887-1891
著者・共著者	◎T. Goto, M. Hirayama, H. Yamauchi, M. Moriguchi, S. Sugawa and T. Ohmi