ヤマウチ ヒロシ   YAMAUCHI Hiroshi
  山内 博
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   助教(A)
言語種別 英語
発行・発表の年月 2003/04
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 A New Microwave-Exited Plasma Etching Equipment for Separating Plasma Excited Region from Etching Process Region
執筆形態 共著
掲載誌名 Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分国内
巻・号・頁 42,pp.1887-1891
著者・共著者 ◎T. Goto, M. Hirayama, H. Yamauchi, M. Moriguchi, S. Sugawa and T. Ohmi