ヤマウチ ヒロシ   YAMAUCHI Hiroshi
  山内 博
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   助教(A)
言語種別 英語
発行・発表の年月 2004/04
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 High-Speed Damage-Free Contact Hole Etching Using Dual Shower Head Microwave-Excited High-Density-Plasma Equipment
執筆形態 共著
掲載誌名 Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分国内
巻・号・頁 43,pp.1784-1787
著者・共著者 ◎T. Goto, H. Yamauchi, T. Kato, M. Terasaki, A. Teramoto, M. Hirayama, S. Sugawa and T. Ohmi