オオゴエ　ヤスハル   OHGOE Yasuharu   大越　康晴    所属   東京電機大学  理工学部 理工学科　電子工学系    東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻    職種   准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2007/11
形態種別	国際会議論文
標題	Carbon thin film deposition for 3-dimensional structures using r.f. plasma CVD
執筆形態	共著
掲載誌名	Proceedings of MJISAT 2007
掲載区分	国外
巻・号・頁	pp.219
著者・共著者	◎Y. Ohgoe, K. K. Hirakuri, A. Funakubo, and Y. Fukui