オオゴエ ヤスハル   OHGOE Yasuharu
  大越 康晴
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2007/11
形態種別 国際会議論文
標題 Carbon thin film deposition for 3-dimensional structures using r.f. plasma CVD
執筆形態 共著
掲載誌名 Proceedings of MJISAT 2007
掲載区分国外
巻・号・頁 pp.219
著者・共著者 ◎Y. Ohgoe, K. K. Hirakuri, A. Funakubo, and Y. Fukui