オグラ　ショウヘイ   OGURA Shohei   小倉　正平    所属   東京電機大学  工学部 自然科学系列（工学部）    職種   准教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2020/02
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	Effect of forming gas annealing on hydrogen content and surface morphology of titanium oxide coated crystalline silicon heterocontacts
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Vacuum Science&Technology A
掲載区分	国外
巻・号・頁	38,pp.022415
著者・共著者	Yuta Nakagawa,Kazuhiro Gotoh,Markus Wilde,Shohei Ogura,Yasuyoshi Kurokawa,Katsuyuki Fukutani,Noritaka Usami
DOI	10.1116/1.5134719
PermalinkURL	https://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.5134719