オグラ ショウヘイ
OGURA Shohei
小倉 正平 所属 東京電機大学 工学部 自然科学系列(工学部) 職種 准教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2020/02 |
形態種別 | 学術研究論文 |
査読 | 査読有り |
標題 | Effect of forming gas annealing on hydrogen content and surface morphology of titanium oxide coated crystalline silicon heterocontacts |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Journal of Vacuum Science&Technology A |
掲載区分 | 国外 |
巻・号・頁 | 38,pp.022415 |
著者・共著者 | Yuta Nakagawa,Kazuhiro Gotoh,Markus Wilde,Shohei Ogura,Yasuyoshi Kurokawa,Katsuyuki Fukutani,Noritaka Usami |
DOI | 10.1116/1.5134719 |
PermalinkURL | https://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.5134719 |