オグラ ショウヘイ   OGURA Shohei
  小倉 正平
   所属   東京電機大学  工学部 自然科学系列(工学部)
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2020/02
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Effect of forming gas annealing on hydrogen content and surface morphology of titanium oxide coated crystalline silicon heterocontacts
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Vacuum Science&Technology A
掲載区分国外
巻・号・頁 38,pp.022415
著者・共著者 Yuta Nakagawa,Kazuhiro Gotoh,Markus Wilde,Shohei Ogura,Yasuyoshi Kurokawa,Katsuyuki Fukutani,Noritaka Usami
DOI 10.1116/1.5134719
PermalinkURL https://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.5134719