シオツキ テツオ   SHIOTSUKI Tetsuo
  汐月 哲夫
   所属   東京電機大学  未来科学部 ロボット・メカトロニクス学科
   東京電機大学大学院  未来科学研究科 ロボット・メカトロニクス学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   教授
研究期間 2010/04~
研究課題 干渉のある多入出力系の制御に関する研究
実施形態 国内共同研究
研究委託元等の名称 株式会社KELK
研究種目名 研究員
キーワード 半導体製造プロセス、温度制御、現代制御理論、ディジタル制御、むだ時間、悲干渉化
研究制度 共同研究
代表分担区分 研究代表者
代表者 汐月哲夫
概要 半導体製造プロセスの温度制御において現代制御理論、特にモデル追従型の制御アルゴリズムの有効性について理論、実験の両面から検討する。