オオゴエ　ヤスハル   OHGOE Yasuharu   大越　康晴    所属   東京電機大学  理工学部 理工学科　電子工学系    東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻    職種   准教授
研究期間	2006/04～2008/03
研究課題	生体医療器具を対象とした炭素系薄膜形成プラズマプロセスの開発
実施形態	科学研究費補助金
研究委託元等の名称	科学研究費補助金
研究種目名	若手研究（Ｂ）
代表分担区分	研究代表者