教員情報 - 小林　宏史 | 東京電機大学

コバヤシ　ヒロシ KOBAYASHI Hiroshi
小林　宏史

所属東京電機大学工学部先端機械工学科

東京電機大学大学院先端科学技術研究科機械システム工学専攻

東京電機大学大学院工学研究科先端機械工学専攻

職種教授

学会発表
1.	2025/04/16	Demonstration of Projection Lithography on Curved Surfaces Using Paraboloid Mirror Optics and Flat Reticles (Photomask Japan 2025)
2.	2025/03/19	リソグラフィと電解エッチングによるステンレス鋼板への撥水性微細構造の形成 (2025年度　精密工学会　春季大会)
3.	2025/03/19	光ファイバと光硬化性樹脂を用いた針状突起構造の製作 (2025年度　精密工学会　春季大会)
4.	2025/03/19	光変調素子と円錐ミラーを用いた円筒内面円周一括露光技術の検討 (2025年度　精密工学会　春季大会)
5.	2024/12/07	正方形化光ファイバマトリクスを用いた投影露光における隣接する光ファイバからの漏れ光の影響を考慮した光強度補正方法の検証 (令和6年度　応用物理学会　北陸・信越支部　学術講演会)
6.	2024/11/14	Demonstration of Non-Distortion Stereophonic Lithography Using the Paraboloid-Mirror Optics and a Distortion-Compensated Flat Reticle (37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference)
7.	2024/10/25	Applicability of Projection Lithography Using a Gradient-Index Lens Array to Thick Resist Patterning (The 20th International Conference on Precision Engineering)
8.	2024/09/05	円錐ミラーを用いた円筒内面円周一括露光技術における平面マスクパターンの形状補正方法 (2024年度　精密工学会　秋季大会)
9.	2024/08/29	回転放物面鏡立体投影露光光学系の投影歪の計算とレチクル修正による投影歪の補正 (電気学会光応用・視覚研究会)
10.	2024/08/23	円錐凹型ミラーを用いた円筒マイクロ部品への円周一括露光技術の検討 (電気学会東京支部カンファレンス)
11.	2024/08/06	円錐反射面を用いた円筒内面円周一括露光技術 (2024（令和6）年度総合研究所研究成果発表会)
12.	2024/06/29	円錐ミラーを用いたパイプ試料への内面円周一括露光技術 (The 41st International Conference of Photopolymer Science and Technology)
13.	2024/06/28	スペックル光リソグラフィによる段差面へのランダムパターン一括形成技術 (The 41st International Conference of Photopolymer Science and Technology)
14.	2024/04/17	Projection Exposure on Overall Inner Surfaces of Cylindrical Pipes Using a Cone Mirror (Photomask Japan 2024)
15.	2024/04/17	Projection Lithography Using Squared 125-μm Optical Fiber and LED Matrices (Photomask Japan 2024)
16.	2024/03/22	回転放物面鏡を用いた立体リソグラフィ光学系の歪みと光強度分布の補正 (第71回応用物理学会春季学術講演会)
17.	2024/03/14	スペックル光リソグラフィによる針状レジストパターンの微細化 (2024年度　精密工学会　春季大会)
18.	2013/03	四列屈折率分布型レンズアレイの使用によるパターン線幅異方性の解消 (第60回応用物理学会春季学術講演会)
19.	2014	Desk-top simple lithography tool utilizing a liquid-crystal-display projec-tor (Micro and Nano Engineering)
20.	2014/03	屈折率分布型レンズアレイを用いた投影露光リソグラフィの線幅均一性 (第61回応用物理学会春季学術講演会)
21.	2015/02	デスクトップ型液晶マトリックス投影露光装置の最適Fナンバの検討 (第62回応用物理学会春季学術講演会)
22.	2016	液晶マトリックス投影露光時の階調制御による線幅均一性向上の検討 (第63回応用物理学会春季学術講演会)
23.	2016/06/24	液晶マトリックス投影露光における液晶表示の階調制御による露光フィールド内パターン線幅の均一化 (The 33rd International Conference of Photopolymer Science and Technology, Ma-terials & Processes for Advanced Microlithography, Nanotechnology, and Pho-totechnology, 日本語シンポジウム)
24.	2017/03	屈折率分布型レンズアレイを用いた投影露光リソグラフィにおける露光フィールド内パターン形成特性の均一化 (第64回応用物理学会春季学術講演会)
25.	2018/09/03	Applications of photopolymer resists to direct fabrication of three-dimensional micro-structures (Polymer World Congress)
26.	2018/09/18	外径100μｍのステンレス管への密接交互配置貫通スリット群の微細加工 (第79回応用物理学会秋季学術講演会)
27.	2018/11/13	Application of Projection Exposure Using a Gradient Index Lens Array and Wet Etching to Texturing and Hydrophobic-Property Control of Stainless-Steel Plates (31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference)
28.	2018/11/28	リソグラフィとウェットエッチングによる細径ステンレス管への密接スリットアレイの形成 (電気学会研究会資料, 光応用・視覚研究会)
29.	2019/02/18	Investigation on stainless-steel stents fabricated using projection lithography and wet etching (EBS 2019, 2nd EUROPEAN BIOSENSOR SYMPOSIUM, FLORENCE, ITALY)
30.	2019/02/25	マスクレス内面リソグラフィ用大パターン露光光学系の検討 (第66回応用物理学会春季学術講演会講演)
31.	2019/04/16	Basic Design and Investigation on a Maskless Lithography System for Printing Patterns on the Inside Surface of Long Pipe (Photomask Japan 2019 The 26th Symposium on Photomask and NGL Mask Technology)
32.	2019/06/27	Improvement of Hydrophobic Property of Stainless Steel Plates by Making 20-Micron Size Lens-Like Protrusions Using Lithography and Etching (SMT33( 33rd International Conference on Surface Modification Technology))
33.	2019/07/04	光ファイバマトリックスとテーパコンデュィットを用いた円管内面露光装置の検討 (Next Generation Lithography Research Committee, The Japan Society of Applied Physics)
34.	2019/08/30	液晶投影露光による短波用厚膜レジストパターンを形成する二層レジストプロセス (電気学会光応用・視覚研究会)
35.	2019/09/04	小径ステンレス管表面への網目パターンの均一形成 (精密工学会秋季大会学術講演会)
36.	2019/09/10	屈折率分布型レンズアレイによる大面積均一投影露光 (電気学会基礎・材料・共通部門大会)
37.	2019/09/18	レンズ状突起の形成によるステンレス鋼板の撥水性向上 (第８０回応用物理学会秋季学術講演会)
38.	2019/10/28	Two-Layer Resist Process to Print Thick Patterns by Exploiting Matrix Projection Exposure Using a Liquid-Crystal-Display Panel (MNC2019 (32nd International Microprocessors and Nanotechnology Conference))
39.	2019/11/12	Fabrication of a stent-like complicated structure Using Synchronized Rotation Lithography and Wet Chemical Etching (ASPEN 2019)
40.	2020/02/23	Novel Fabrication Method of Minute Cylindrical Structures Such as Stents Using Lithography, Etching, and Chemical Polishing (Biodevices 2020)
41.	2020/03/12	一列アレイを積層した正方形断面光ファイバマトリックスの露光特性 (応用物理学会　春季大会)
42.	2020/03/17	屈折率分布型レンズアレイの要素レンズを用いた等倍投影露光の解像度と露光領域の検討 (精密工学会　春季大会　学術講演会)
43.	2020/03/17	屈折率分布型レンズアレイを用いた厚膜レジストへの走査投影露光の基礎検討 (精密工学会　春季大会　学術講演会)
44.	2020/03/17	高強度発光ダイオードと２５０μm角光ファイバアレイを用いた投影露光リソグラフィの基礎検討 (精密工学会　春季大会　学術講演会)
45.	2020/09/09	マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討 (応用物理学会秋季学術講演会)
46.	2020/11/24	Investigation on Resolution of 1:1 Projection Exposure Using an Element Lens of Gradient-Index Lens Array (ICPE 2020 (18th International Conference on Precision Engineering.))
47.	2020/11/24	Research on Projection Exposure Using Quarter-Millimeter Squared Optical Fibers (ICPE 2020 (18th International Conference on Precision Engineering.))
48.	2021/03	透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討 (応用物理学会　春季大会)
49.	2021/03/16	3 軸同期スキャンリソグラフィ技術を用いたいた円筒マイクロ部品加工の基礎検討 (2021年度精密工学会春季大会学術講演会(オンライン開催))
50.	2021/03/16	スペックル光を利用したリソグラフィ技術によるパターン形成の基礎検討 (2021年度精密工学会春季大会学術講演会(オンライン開催))
51.	2021/03/16	屈折率分布型レンズアレイを用いた厚膜レジストへの走査投影露光の基礎検討（第 2 報）－露光領域内でのパターン線幅の均⼀性評価－ (2021年度精密工学会春季大会学術講演会(オンライン開催))
52.	2021/03/16	高強度発光ダイオードと 125μm 角光ファイバアレイを用いた投影露光リソグラフィの基礎検討 (2021年度精密工学会春季大会学術講演会(オンライン開催))
53.	2021/04/20	Stereophonic Projection Exposure Using a Pair of Parabolic Mirrors (PhotoMask Japan 2021 The 27th Symposium on Photomask and NGL Mask Technology)
54.	2021/09	対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証 (応用物理学会)
55.	2021/09	放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討 (電気学会A部門)
56.	2021/10/26	INVESTIGATION OF PROJECTION EXPOSURE SYSTEM USING A PAIR OF PARABOLIC MIRRORS (MNC2021)
57.	2022/03	スペックル光を利用したリソグラフィ技術による厚膜レジストへのパターン形成の基礎検討 (精密工学会春季大会)
58.	2022/03	一方向照明の適用による放物面投影露光レジストパターンの改善 (応用物理学会春季大会)
59.	2022/03	回転軸対象ミラーを用いた円筒マイクロ部品への円周一括露光技術の基礎検討 (精密工学会春季大会)
60.	2022/03	開口制限マスク付き正方形光ファイバを用いた露光技術の基礎検討 (精密工学会春季大会)
61.	2022/03	高強度発光ダイオードと125μm角光ファイバアレイを用いた投影露光リソグラフィの基礎検討（第2報） (精密工学会春季大会)
62.	2022/08/04	Stereophonic Lithography Using a Parabolic Mirror Projection System and One-side Illumination (13th International Conference on Optics-photonics Design & Fabrication ODF'22)
63.	2022/08/27	スペックル光を利用した光リソグラフィ技術による円筒面へのランダムパターン一括形成技術の基礎研究 (精密工学会北海道支部学術講演会)
64.	2022/08/27	スペックル光を利用した光リソグラフィ技術による段差面へのランダムパターン一括形成技術の基礎研究 (精密工学会北海道支部学術講演会)
65.	2022/08/27	同期スキャンリソグラフィ技術を用いた円形断面針状試料表面への露光技術の基礎研究 (精密工学会北海道支部学術講演会)
66.	2022/09	スペックル光を利用した光リソグラフィ技術による微細点状パターン形成の基礎検討 (精密工学会秋季大会)
67.	2022/09	円筒マイクロ部品内面への円錐ミラーを用いた円周一括露光技術の基礎検討 (精密工学会秋季大会)
68.	2022/09/20	青色発光ダイオードでコリメート照明した対向放物面鏡面立体投影リソグラフィによるスプーン面へのパターン形成の実証 (2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会)
69.	2022/11/08	PERFORMANCES OF STEREOPHONIC PROJECTION LITHOGRAPHY USING A PARABOLLIC MIRROR SET ILLUMINATED BY COLLIMATED LIGHT (35st International Microprocesses and Nanotechnology Conference)
70.	2023/03	3 軸同期スキャンリソグラフィによる円柱表面へのパターン形成の検討 (精密工学会　春季大会)
71.	2023/03	LED と 125μｍ角光ファイバマトリクスを用いた投影露光リソグラフィ技術の検討 (精密工学会　春季大会)
72.	2023/03	スペックル光リソグラフィによる段差面へのランダムパターン一括形成技術の研究 (精密工学会　春季大会)
73.	2023/03	円錐ミラーを用いた円筒内面円周一括露光の高精細化と観察光学系の導入 (精密工学会　春季大会)
74.	2023/03	平面レチクルを用いた対向放物面ミラー立体投影露光の可能性 (応用物理学会春季大会)
75.	2023/03	高さ測定用ポイントオートフォーカスとディジタルミラーデバイスを用いた投影露光技術の研究 (精密工学会　春季大会)
76.	2023/04/27	Situation of Stereophonic Lithography Using Parabolic Mirrors (Photomask Japan 2023)
77.	2023/08/26	スペックル光リソグラフィ技術による立体形状表面への露光技術の基礎研究 (2023年度　精密工学会　北海道支部　学術講演会)
78.	2023/09/20	放物面鏡立体投影露光のフィールド歪とパターン形成への影響 (応用物理学会秋季学術講演会)
79.	2023/11/17	Investigation into Field Distortion and Pattern-Width Distribution of Parabolic Mirror Optics Prepared for Stereophonic Lithography (36st International Microprocesses and Nanotechnology Conference)
80.	2023/12/02	スペックル光リソグラフィによる針状パターン形成の微細化 (令和5年度　応用物理学会　北陸・信越支部　学術講演会)
81.	2023/12/02	立体フォトマスクを用いた3次元レジストパターン形成の新方法 (令和5年度　応用物理学会　北陸・信越支部　学術講演会)
82.	2024/03/14	体積散乱体拡散板を用いたスペックル光リソグラフィによるランダムパターン形成 (2024年度　精密工学会　春季大会)
83.	2024/03/14	円錐ミラーを用いた金属パイプ試料への内面円周一括露光技術の研究 (2024年度　精密工学会　春季大会)