| 研究期間 | 2017/04/01 ～ 2021/03/31 |
|---|---|
| 研究課題 | 光変調MEMSによる可視光と遠赤外光の同時計測 |
| 実施形態 | 科学研究費補助金 |
| 研究委託元等の名称 | 日本学術振興会 |
| 研究種目名 | 若手研究(A) |
| 研究機関 | 東京大学 |
| 科研費研究課題番号 | 17H04912 |
| 代表分担区分 | 研究代表者 |
| 概要 | 変調器駆動部と検出器の設計を行った。駆動部は櫛歯電極をもつMEMS静電アクチュエータとした。フィルタ支持部を支える梁の幾何学的構造によって共振点を調整することができる。駆動部へのフィルタの固定方法については次年度の試作と並行して引き続き検討する必要がある。また、検出器について前年度の実験で用いたPN接合ダイオードとシリコン抵抗器をベースとして検討した。さらに、プリント基板加工機を導入して次年度に試作する検出器を用いた計測実験の準備を整えた。
さらに追加で、半値全幅が150 nmから200 nm程度の狭帯域の遠赤外線バンドパスフィルタを使って、キャビティ黒体炉を光源とした薄板材料の透過率計測実験を行った。この結果、材料によって透過率の低下する帯域があるという結果が得られ、赤外線のマルチスペクトル画像が物体の材料の推定に役立つ可能性を示唆した。 |